■装置概要
【SEM】観察試料に電子線をあて、反射した電子を画像処理し像を得ます。電子線をあてる位置を少しずつずらしながら走査することにより顕微鏡像を観察することができます。

【EDX】走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にエネルギー分散型Ｘ線分析装置（ＥＤＸ）を取り付けており、Ｂ〜Ｕの検出可能元素の同時分析が可能で、各元素の定性・定量分析ができます。
電子ビームを分析サンプルにあてると特定Ｘ線が放射され、各元素の種類、量によってエネルギーが変わるのを解析して定性・定量分析を行います。

■仕様
【SEM】
分解能：3.0nm（30KV、WD8mm）
倍率：X5〜300,000

【EDX】
検出可能元素：Ｂ〜Ｕ
線・面分析および定量分析

■適用例
表面物質の観察及び元素分析、微細構造の観察